上海新昇半導(dǎo)體有限公司定期維護(hù)
上海新昇半導(dǎo)體有限公司,是我國8寸以上硅片大型生產(chǎn)企業(yè),也是半導(dǎo)體行業(yè)知名上市公司,上海新昇
于2016年購入我司定制3D超景深顯微鏡,用于硅片MARK點深度的生產(chǎn)工藝檢測,在今年的年度巡檢
中,技術(shù)人員對其進(jìn)行了常規(guī)維護(hù),目前,該設(shè)備使用正常,精度符合生產(chǎn)要求,以下是具體測試圖
MARK點深度測試1
MARK點深度測試2
MARK點深度測試3